更新一代MEMS传感器芯片技术
精度高,响应速度快,重复性好
低功耗(使用脉冲激发电流)
可精确测量极小流量 体积小 重量轻 可靠性高
经过完全校准和温度补偿
工业过程控制
空气和环境保护
便携式仪器 技术指标
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