流量规格(N2) |
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM |
准确度 |
±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
±0.35% F.S. (<35% F.S.) | |
线性 | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
工作压差范围 | 0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM |
0.1~0.35Mpa 流量规格>10SLM | |
温度系数 | 零点:≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃ |
耐压 |
3MPa ≤2sec |
漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
密封材料 | 氟橡胶; 金属密封 |
工作环境温度 |
(5~45) ℃ |
电话:17513176192
邮箱:cnsales@winsensor.com
地址:郑州市高新区金梭路299号