我国基于MEMS微纳传感器技术的加工实验室建成

摘要：微纳制造技术，是MEMS传感器可产品化和批量化制造的前提。11月25日，湖南先进传感与信息技术创新研究院核心实验室落成，这是我国目前最大最先进的微纳传感器加工实验室。 

微纳制造技术作为MEMS传感器的实现手段，它直接决定了传感器的性能与制作成本，是传感器可产品化和批量化制造的前提。随着MEMS微纳制造技术的不断进步，MEMS传感器在航空航天、生化医疗、食品安全等领域得到广泛的应用，特别是近几年来伴随着汽车电子产品和物联网的快速发展，市场对不同类型和功能的MEMS传感器需求量越来越大。

落成仪式现场，资料图

11月25日，湖南先进传感与信息技术创新研究院核心实验室，在湘潭大学正式落成。据悉，这是中南地区最大、属于国内领先水平的微纳器件加工实验室。而湖南先进传感与信息技术创新研究院，则是湖南省人民政府支持，投资1亿元，由北京大学与湘潭大学合作共建，设立在湘潭大学的新型研发平台。

在落成仪式上，担任该研究院院长的中科院院士、北京大学教授彭练矛表示，该实验室是我国最大、最先进的微纳传感器加工实验室，包括百级、千级、万级在内的核心超净室1400平方米，及价值两千余万元的微纳加工装备。这为将来研究院成为全国乃至国际领先的传感技术发源地打下了坚实的基础。

未来，物联网的发展将把包括人在内的万物都联系起来，其中最为核心的技术就是先进传感和信息处理技术。

据了解，彭练矛院士团队在碳基集成电路与纳米器件研究领域处于国际前沿，其研究成果对于用碳纳米管材料替代硅基材料制造电子产品芯片，从而突破传统硅基材料物理极限，具有颠覆性意义，产业化前景巨大。

MEMS微纳制造技术实验室内景，资料图

研究院将依托彭练矛院士团队的先导性技术优势，建成碳基纳米器件和新型传感器研究的国内一流创新平台，基于平台，也有望研发出属于我国自己的“中国芯”，形成一批具有国际影响的重大原始创新成果，并探索推动其在可穿戴电子产品、工业控制、人工智能、健康监测和医疗以及物联网等的应用。

据介绍，此次落成的核心实验室，即微纳传感器加工实验室，包括百级、千级、万级在内的超净室约1500平方米，和一批先进的微纳加工设备。超净室最主要的作用在于控制产品所接触大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产。

为推动湖南先进传感与信息技术创新研究院建设，省科技厅将其列为了长株潭国家自主创新示范区重大标志性工程。目前，该研究院已引进包括中国科学院院士、国家优青等一批高端人才，招收了20余名博士、硕士研究生培养并开展科研，发表了20余篇较高水平的学术论文。

另外，该研究院还积极与企业进行了接洽，计划在传感器应用方面，与华为、京东方、旭海光电、中电集团等龙头企业开展产学研合作，将基础研究成果尽快推向市场。