基于MEMS技术的气体流量传感器，你造吗？

温度、压力、流量是工业中3大检测参数，其中，流量测量有很长的历史。早在古代，由于水利和农业灌溉的需要，人们就开始关注流量测量。

近年来，随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展，传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向发展，微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向。

炜盛科技自主研发的微流量传感器于2012年即研发成功并取得相关专利，产品质量稳定可靠，符合我司参与起草的《JB/T 13111-2017 热式质量流量传感器》行业标准。

  产品特点  

◇ 新一代MEMS传感器芯片技术

◇ 精度高，响应速度快，重复性好

◇ 可精确测量极小流量

◇ 经过完全校准和温度补偿

  产品应用领域  

微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。在工业生产、科学实验、产品质量把控、生产效率提高、能源节约等方面发挥着重要作用。

流量传感器在医疗领域，如：医院病床供氧、楼层管道供氧以及呼吸机、制氧机、麻醉机中有广泛的应用。

在仪器仪表领域，原子分光光度计、气相色谱、气密检漏仪、风速计等设备中，也会用到流量传感器。